Schopnosť reakcie je silná. Keď je tam voda a kyslík, bude ďalej reagovať s elektrickými materiálmi a vodou, čím sa rozkladá za vzniku toxických alebo vysoko toxických plynov. Tieto toxické plyny poškodzujú najmä dýchací systém ľudského tela. Po otrave sa dostavia nežiaduce reakcie ako prechladnutie, kožná alergia, nevoľnosť a zvracanie, únava atď. Pri vdýchnutí veľkých dávok sa vyskytnú vážnejšie následky.
Preto sa počas údržby a testovania zariadenia SF6 musia prijať nasledujúce ochranné opatrenia:
(1) Pracovisko musí byť dobre vetrané a personál údržby musí byť v polohe proti vetru;
(2) Noste plynovú masku a ochranné rukavice;
(3) Obnovte vypustený plyn alebo ho vypustite do kanalizácie potrubím, namiesto toho, aby ste ho priamo vypúšťali do atmosféry;
(4) Pred prestávkou alebo po práci si umyte tvár, krk, paže a ruky mydlom a veľkým množstvom vody;
(5) V prípade náhodného kontaktu s veľkou dávkou plynu sa ihneď umyte, prezlečte a choďte včas do nemocnice na pozorovanie a ošetrenie.